地下実験室

• 季節・天候・時間に影響されない精密な測定のために温度と湿度（加湿・除湿）をコントロールしています．
• 中央の写真は温度・湿度管理の操作盤，右の写真は温度・湿度の4日間の測定結果です．

主な実験装置

3次元表面微細形状測定機　小坂研究所　SE-30

共焦点顕微鏡　レーザーテック(株)　1LM21DW-AS

共焦点顕微鏡　Keyence VK100

共焦点顕微鏡　Keyence VK8500

※写真準備中

三次元表面構造解析顕微鏡　Zygo corp.　New View 200

原子間力顕微鏡　セイコーインスツルメンツ(株)　SPA 300

※写真準備中

円筒度測定機

過去の測定機

3次元表面微細形状測定機　自作

円筒面表面微細形状測定機　自作

3軸球面形状測定機

原子間力顕微鏡　セイコーインスツルメンツ(株)　Nanopics

三次元座標測定器　(株)ミツトヨ　MICROCORD AE112

※写真なし

超微細放電加工機　松下電器産業(株)　MG-ED72W

三次元光造形システム　デンケンエンジニアリング(株)　SLP-5000SX

円筒度測定機（東京精密）

※写真なし