地下実験室
- 季節・天候・時間に影響されない精密な測定のために温度と湿度(加湿・除湿)をコントロールしています.
- 中央の写真は温度・湿度管理の操作盤,右の写真は温度・湿度の4日間の測定結果です.
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/B106lab_a.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/B106lab_b.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/B106lab_c.jpg)
主な実験装置
3次元表面微細形状測定機 小坂研究所 SE-30
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共焦点顕微鏡 レーザーテック(株) 1LM21DW-AS
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010084.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010083.jpg)
共焦点顕微鏡 Keyence VK100
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010081.jpg)
共焦点顕微鏡 Keyence VK8500
※写真準備中
三次元表面構造解析顕微鏡 Zygo corp. New View 200
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010090.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010089.jpg)
原子間力顕微鏡 セイコーインスツルメンツ(株) SPA 300
※写真準備中
円筒度測定機
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010108.jpg)
過去の測定機
3次元表面微細形状測定機 自作
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010111.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010114.jpg)
円筒面表面微細形状測定機 自作
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010110.jpg)
3軸球面形状測定機
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010115.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010117.jpg)
原子間力顕微鏡 セイコーインスツルメンツ(株) Nanopics
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010088.jpg)
三次元座標測定器 (株)ミツトヨ MICROCORD AE112
※写真なし
超微細放電加工機 松下電器産業(株) MG-ED72W
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010094.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010098.jpg)
三次元光造形システム デンケンエンジニアリング(株) SLP-5000SX
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010074.jpg)
![](http://www.mes.sc.e.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2023/01/P1010076.jpg)
円筒度測定機(東京精密)
※写真なし